高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的分辨率主要由電子束的直徑和探測器的靈敏度決定。電子束的直徑越小，分辨率越高。而電子束的直徑又由電子槍的性能和電磁透鏡的質(zhì)量決定。探測器的靈敏度越高，能夠檢測到的信號(hào)電子就越多，分辨率也就越高。分辨率還受到工作距離、加速電壓、樣品的導(dǎo)電性能等因素的影響。工作距離越短，加速電壓越高，樣品的導(dǎo)電性能越好，分辨率就越高。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
-體型小巧：體型小巧，占用空間小，這使得它在實(shí)驗(yàn)室中的布置更為靈活，不需要專門的大空間進(jìn)行安置。
-結(jié)構(gòu)簡潔：產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡潔，不僅美觀，而且易于維護(hù)及保養(yǎng)。簡潔的設(shè)計(jì)降低了日常使用中的復(fù)雜性，提高了設(shè)備的使用效率。
-操作界面友好：強(qiáng)大的軟件功能配合單窗口操作界面，使得用戶操作變得方便簡單。這種人性化的設(shè)計(jì)理念，大大降低了操作者的技術(shù)門檻，使得設(shè)備更加普及。
-實(shí)時(shí)存儲(chǔ)：軟件實(shí)現(xiàn)檢測圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ)，這對(duì)于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的即時(shí)分析和記錄至關(guān)重要，保證了數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和實(shí)時(shí)性。
-自動(dòng)平臺(tái)：采用中心定位模式的自動(dòng)平臺(tái)，能夠迅速定位待測樣品。這種設(shè)計(jì)提高了樣品檢測的效率，節(jié)省了準(zhǔn)備時(shí)間。
-高低壓真空設(shè)計(jì)：可調(diào)式電壓的高低壓真空設(shè)計(jì)為不同樣品提供了更合適的檢測環(huán)境，這種靈活性是傳統(tǒng)掃描電鏡所不具備的。
-高亮度燈絲：使用高亮度燈絲的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡，放大倍數(shù)可達(dá)130,000倍，能夠觀察到納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
-全新聚焦系統(tǒng)：基于高亮度燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)的分辨率輕松達(dá)到14nm，這為科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了細(xì)節(jié)觀察能力。
-全自動(dòng)操作：具有全自動(dòng)操作功能，包括15秒快速抽真空、不噴金觀看等功能，這些都極大地提升了用戶的使用體驗(yàn)。
-微區(qū)形貌分析：掃描電子顯微鏡適用于高分辨率微區(qū)形貌分析，其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括但不限于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等多個(gè)學(xué)科。
-立體感成像：具有景深大、成像直觀、立體感強(qiáng)的特點(diǎn)，這使得其在三維結(jié)構(gòu)分析中具有特殊的優(yōu)勢(shì)。
